スピントロニクスで、世界に驚きと感動を。

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実験装置

Tiサファイアレーザー+OPOシステム

Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き

エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き

光学測定用 面内7T

フォトルミネッセンス測定系

オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K

シュミレーションパソコン

CVD装置

サムコRIE BCl3 半導体エッチング
アルファステップ 段差計
マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ
ミリング装置 伯東 7×10-5Pa
Jeol SEM 
ランプ加熱アニール炉
ULVAC EBガン+抵抗加熱 5×10-4Pa
PPMS カンタムデザイン 面直磁場9T 共用 VSMローテータオプション付き
極MOKE測定装置 最大印加磁場2T NEOアーク
面内Kerr効果測定装置 0.2T
東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT
オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直9T面内1T2軸 測定温度200K~1.5K
オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K~0.3K
ナガセテクノエンジニアリング 300K~10K 1軸磁場800mT GM冷凍機
ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000
サムコRIE BCl3 半導体エッチング
アルファステップ 段差計
マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ
ミリング装置 伯東 7×10-5Pa
Jeol SEM 
ランプ加熱アニール炉
ULVAC EBガン+抵抗加熱 5×10-4Pa
PPMS カンタムデザイン 面直磁場9T 共用 VSMローテータオプション付き
極MOKE測定装置 最大印加磁場2T NEOアーク
面内Kerr効果測定装置 0.2T
東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT
オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直9T面内1T2軸 測定温度200K~1.5K
オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K~0.3K
ナガセテクノエンジニアリング 300K~10K 1軸磁場800mT GM冷凍機
ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000

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宮城県仙台市青葉区荒巻青葉6-6-02
マテリアル・開発系教育研究棟
好田研究室

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