実験装置
Tiサファイアレーザー+OPOシステム
Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き
エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き
光学測定用 面内7T
フォトルミネッセンス測定系
オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K
シミュレーションパソコン
CVD装置
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