実験装置
Tiサファイアレーザー+OPOシステム

Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き

エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き

光学測定用 面内7T

フォトルミネッセンス測定系

オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K

シミュレーションパソコン

CVD装置

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