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スピントロニクスで、世界に驚きと感動を。

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実験装置

Tiサファイアレーザー+OPOシステム

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Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き

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エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き

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光学測定用 面内7T

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フォトルミネッセンス測定系

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オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K

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シミュレーションパソコン

シュミレーションパソコン

CVD装置

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サムコRIE BCl3 半導体エッチング
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アルファステップ 段差計
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マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ
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ミリング装置 伯東 7×10-5Pa
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Jeol SEM
Jeol SEM 
ランプ加熱アニール炉
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ULVAC EBガン+抵抗加熱 5×10-4Pa
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PPMS カンタムデザイン 面直磁場9T 共用 VSMローテータオプション付き
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極MOKE測定装置 最大印加磁場2T NEOアーク
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面内Kerr効果測定装置 0.2T
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東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT
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オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直9T面内1T2軸 測定温度200K~1.5K
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オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K~0.3K
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ナガセテクノエンジニアリング 300K~10K 1軸磁場800mT GM冷凍機
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ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000
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