サムコRIE BCｌ３ 半導体エッチング
アルファステップ 段差計
マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ
ミリング装置 伯東 7×10-5Pa
Jeol SEM
ランプ加熱アニール炉
Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き
エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元＋コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート ７Kセル＋EBガン RHEED付き
ULVAC EBガン＋抵抗加熱 ５×10-4Pa
PPMS カンタムデザイン 面直磁場９T 共用 VSMローテータオプション付き
極MOKE測定装置 最大印加磁場２T NEOアーク
面内Kerr効果測定装置 0.2T
オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直６T面内２T2軸 測定温度200K～1.4K
東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT
オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直９T面内１T2軸 測定温度200K～1.5K
オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K～0.3K
ナガセテクノエンジニアリング 300K～10K 1軸磁場800mT GM冷凍機
ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000
オックスフォードインストゥルメンツ スペクトロマグ 光学測定用 面内７T
Tiサファイアレーザー＋OPOシステム
